621.3.049.77(035)
Г74
Готра, Зенон Юрьевич.
Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р.ББК 32.844.1я2
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання
фывфывфыв:
структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв
Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.
Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Экземпляры всего: 2
ВВ (1), АБ (1)
Свободны: ВВ (1), АБ (1)
|