Б88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - М. : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.
Рубрики: Мікроелектроніка--Мікросхемотехніка--Практичні посібники фывфывфыв: микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |