621.382(07)
Н 37
Нашельский, Александр Яковлевич.
Технология полупроводниковых материалов [] : учеб. пособие для повышения квалификации / А. Я. Нашельский. - М. : Металлургия, 1987. - 336 с. : рис., табл. - Лит.: с. 331-332. - Предм. указ.: с. 333-335. - 0.65 р.ББК 32.843.3я7
Рубрики: Напівпровідникові матеріали--Технологія--Навчальні видання для підвищення кваліфікації
фывфывфыв:
напівпровідники -- полупроводники -- полікристалічні напівпровідники -- поликристаллические полупроводники -- германій -- германий -- кремній -- кремний -- напівпровідникові з'єднання -- полупроводниковые соединения -- вирощування монокристалів -- выращивание монокристаллов -- направлена кристалізація -- направленная кристаллизация -- однорідно леговані монокристали -- однородно легированные монокристаллы -- високочисті монокристали -- высокочистые монокристаллы -- монокристали досконалої структури -- монокристаллы совершенной структуры -- різання монокристалів -- резка монокристаллов -- шліфовка пластин -- шлифовка пластин -- полірування пластин -- полировка пластин -- епітаксиальні структури -- эпитаксиальные структуры
Аннотация: Систематизированно изложены современные технологии важнейших полупроводниковых материалов.
Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Экземпляры всего: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
|