И20 Иванов-Есипович, Никита Константинович. Технология микросхем [] : учебник / Н. К. Иванов-Есипович. - М. : Высш. шк., 1972. - 256 с. : рис., табл. - Лит.: с. 253-254. - 0.79 р.
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологія виробництва--Навчальні видання для вищої школи фывфывфыв: невакуумная технология миросхем -- невакуумна технологія мікросхем -- вакуумтермическая технология -- вакуумтермічна тнхнологія -- ионноплазменная технология -- іонноплазмова технологія -- технология полупроводниковых микросхем -- технологія напівпровідникових мікросхем -- сборка микросхем -- складання мікросхем -- качество микросхем -- якість мікросхем Аннотация: Технология толстых композиционных пленок, вакуумнотермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |
М 20 Малышева, Идея Александровна. Технология производства интегральных микросхем [] : учебник / И. А. Малышева. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1991. - 344 с. : рис., табл. - Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7 : 2.50 крб РУБ м20 Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологічні процеси--Виготовлення--Навчальні видання фывфывфыв: интегральные микросхемы -- технологические процессы -- технологии микросхем -- изготовление пластин -- виготовлення пластин -- очистка подложек -- очищення підкладок -- топология микросхем -- топологія мікросхем -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- полупроводниковые слои -- напівпровідникові шари -- диффузное легирование -- дифузне легування -- ионное легирование -- іонне легування -- биполярные структуры -- біполярні структури -- сборка микросхем -- складання мікросхем Аннотация: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |