621.3.049.77(035) Г74
Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р.ББК 32.844.1я2 Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання фывфывфыв: структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.
Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Экземпляры всего: 2 ВВ (1), АБ (1) Свободны: ВВ (1), АБ (1)
|