Б88 Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - М. : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.
Рубрики: Мікроелектроніка--Мікросхемотехніка--Практичні посібники фывфывфыв: микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |
Г74 Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р.
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання фывфывфыв: структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 2 ВВ (1), АБ (1) Свободны: ВВ (1), АБ (1) |
М80 Моряков, Олег Сергеевич. Термические процессы в микроэлектронике [] : учеб. пособие / О. С. Моряков. - Москва : Высш. шк., 1987. - 199 с. : рис., табл. - Лит.: с. 197. - 0.40 р. Рубрики: Напівпровідникові прилади--Інтегральні мікросхеми--Виготовлення--Навчальні видання для підвищення кваліфікації фывфывфыв: полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- контрольно-измерительные приборы -- контрольно-вимірювальні прилади -- технологические процессы -- технологічні процеси -- термические процессы -- термічні процеси -- элионная технология -- еліонна технологія -- фотолитография -- фотолітографія -- вакуумная техника -- вакумна техніка -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборочные работы -- складальні роботи -- герметизация полупроводниковых приборов -- герметизація напівпровідникових приладів Аннотация: Процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элитной технологией. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |
М 20 Малышева, Идея Александровна. Технология производства интегральных микросхем [] : учебник / И. А. Малышева. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1991. - 344 с. : рис., табл. - Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7 : 2.50 крб РУБ м20 Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологічні процеси--Виготовлення--Навчальні видання фывфывфыв: интегральные микросхемы -- технологические процессы -- технологии микросхем -- изготовление пластин -- виготовлення пластин -- очистка подложек -- очищення підкладок -- топология микросхем -- топологія мікросхем -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- полупроводниковые слои -- напівпровідникові шари -- диффузное легирование -- дифузне легування -- ионное легирование -- іонне легування -- биполярные структуры -- біполярні структури -- сборка микросхем -- складання мікросхем Аннотация: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |