Д70 Достанко, Анатолий Павлович. Пленочные токопроводящие системы СБИС [] / А. П. Достанко, В. В. Баранов, В. В. Шаталов ; под ред. Ю. Д. Чистякова. - Минск : Высш. шк., 1989. - 238 с. : рис., табл. - Лит.: с. 225-233. - Предм. указ.: с. 234-237. - ISBN 5-339-00247-0 : 4.00 р.
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Тонкі плівки--Наукові видання фывфывфыв: штрих-диаграммы пленок -- штрих-діаграми плівок -- хемоэпитаксильные слоя силицидов -- хемоепітаксальні шари силіцидів -- пленки силицидов переходных металлов -- плівки силіцидів перехідних металів -- тонкопленочные проводники -- тонкоплівкові провідники -- спектр Оже-электронов -- спектр Оже-електронів -- омические контакты -- омічні контакти -- арсенид-галлиевые приборы -- арсенід-галієві пристрої -- уравнения Аррениуса -- рівняння Ареніуса -- галогенпроизводные соединения -- галогенпохідні з'эднання Аннотация: Рассмотрены основные принципы проектирования пленочных тонкопроводящих систем различных уровней для БИС и СБИС с учетом особенностей последних. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Баранов, Валентин Владимирович; Шаталов, Виктор Васильевич; Чистяков, Ю. Д. \ред.\ Экземпляры всего: 2 ВВ (1), ФОНД (1) Свободны: ВВ (1), ФОНД (1) |