621.3.049.77
Д70
Достанко, Анатолий Павлович.
Технология интегральных схем [] : учеб. пособие / А. П. Достанко. - Минск : Вышэйшая шк., 1982. - 206 с. : рис., табл. - Прил.: с. 200-203. - Лит.: с. 204. - 0.70 р.ББК 32.844.1я73
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Виготовлення--Навчальні видання для вищої школи
фывфывфыв:
технология интегральных микросхем -- технологія інтегральних мікросхем -- выращивание монокристаллов -- вирощування монокристалів -- эпитаксиальные полупроводниковые слои -- епітаксіальні напівпровідникові шари -- диэлектрические пленки -- діелектричні плівки -- фоторезисторы -- фоторезистори -- диффузная технология -- дифузна технологія -- формирование токопроводящих систем -- формування тонкопровідних систем -- комбинированные методы изоляции -- комбіновані методи ізоляції -- формирование интегральных микросхем -- формування інтегральних мікросхем -- тонкопленочные контакты -- тонкоплівкові контакти
Аннотация: Производство интегральных микросхем, оборудование для их реализации, типовые технологические процессы.
Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Экземпляры всего: 1
ФОНД (1)
Свободны: ФОНД (1)
|