32.844.1 Ч49     Черняев, Владимир Николаевич.     Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров [] : учебник для вузов / В. Н. Черняев. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1987. - 464 с. : рис., табл. - Лит.: с. 455. - Предм. указ.: с. 456-460. - 1.40 р.ББК 32.844.1 Рубрики: Мікросхеми--Виробництво--Технологічні процеси--Навчальні видання для вищої школи    Мікропроцесори--Виробництво--Технологічні процеси--Навчальні видання для вищої школи     фывфывфыв: микросхемы -- технологические процессы -- микропроцессоры -- оксидные слои -- оксидні шари -- термическая диффузия -- термічна дифузія -- эпитаксиальные полупроводниковые слои -- епітаксиальні напівпровідникові шари -- ионное легирование -- іонне легування -- литографические процессы -- літографічні процеси -- литографические шаблоны -- літографічні шаблони -- тонкопленочные элементы -- тонкоплівкові елементи -- герметизация интегральных микросхем -- герметизація інтегральних мікросхем -- полупроводниковые интегральные схемы -- напівпровідникові інтегральні мікросхеми -- эффективность технологических процессов -- ефективність технологічних процесів -- гибридные интегральные микросхемы -- гібридні інтегральні мікросхеми Аннотация: Физико-технологические процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)

м20 М 20     Малышева, Идея Александровна.     Технология производства интегральных микросхем [] : учебник / И. А. Малышева. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1991. - 344 с. : рис., табл. - Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7 : 2.50 крбББК 32.844.1 РУБ м20 Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологічні процеси--Виготовлення--Навчальні видання     фывфывфыв: интегральные микросхемы -- технологические процессы -- технологии микросхем -- изготовление пластин -- виготовлення пластин -- очистка подложек -- очищення підкладок -- топология микросхем -- топологія мікросхем -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- полупроводниковые слои -- напівпровідникові шари -- диффузное легирование -- дифузне легування -- ионное легирование -- іонне легування -- биполярные структуры -- біполярні структури -- сборка микросхем -- складання мікросхем Аннотация: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)