621.3.049.77(075) Б82
Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [] : учебник / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - : рис., табл. - Лит.: с. 318-319. - 1.00 р.ББК 32.844.1я72 Рубрики: Мікроелектроніка--Інтегральні мікросхеми--Технологія виробництва--Устаткування--Навчальні видання фывфывфыв: тонкопленочные интегральные микросхемы -- тонкоплівкові інтегральні мікросхеми -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- рисунок микросхем -- малюнок мікросхем -- фотолитография -- фотолітографія -- толстопленочные интегральные схемы -- товстоплівкові інтегральні мікросхеми -- полупроводниковые микросхемы -- напівпровідникові мікросхеми -- большие интегральные схемы -- великі інтегральні мікросхеми -- печатные платы -- друковані плати -- гибридно-пленочные микросхемы -- гібридно-плівкові мікросхеми -- испытание микроэлектронной аппаратуры -- випробування мікроелектронної апаратури Аннотация: Теоретические и практические вопросы технологии производства интегральных микросхем, печатных плат.
Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович
Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)
|