32.844.1 Ч49
Черняев, Владимир Николаевич. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров [] : учебник для вузов / В. Н. Черняев. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1987. - 464 с. : рис., табл. - Лит.: с. 455. - Предм. указ.: с. 456-460. - 1.40 р.ББК 32.844.1 Рубрики: Мікросхеми--Виробництво--Технологічні процеси--Навчальні видання для вищої школи Мікропроцесори--Виробництво--Технологічні процеси--Навчальні видання для вищої школи Кл.слова (ненормовані): микросхемы -- технологические процессы -- микропроцессоры -- оксидные слои -- оксидні шари -- термическая диффузия -- термічна дифузія -- эпитаксиальные полупроводниковые слои -- епітаксиальні напівпровідникові шари -- ионное легирование -- іонне легування -- литографические процессы -- літографічні процеси -- литографические шаблоны -- літографічні шаблони -- тонкопленочные элементы -- тонкоплівкові елементи -- герметизация интегральных микросхем -- герметизація інтегральних мікросхем -- полупроводниковые интегральные схемы -- напівпровідникові інтегральні мікросхеми -- эффективность технологических процессов -- ефективність технологічних процесів -- гибридные интегральные микросхемы -- гібридні інтегральні мікросхеми Анотація: Физико-технологические процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств.
Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)
|