Б95 Быстров, Юрий Александрович. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [] / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 162-166. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Контроль--Практичні посібники Кл.слова (ненормовані): визуальний метод контроля -- візуальний метод контролю -- фотоэлектрические методы контроля -- фотоелектричні методи контролю -- телевизионные методы контроля -- телевізійні методи контролю -- дифракционные методы контроля -- дифракційні методи контролю -- качество полупроводниковых пластин -- якість напівпровідникових пластин -- нанесение пленок -- нанесення плівак -- оптическая спектрометрия -- оптична спектрометрія Анотація: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Колгин, Евгений Александрович; Котлецов, Борис Николаевич Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |
Ж73 Жиров, Григорий Антонович. Технология гибридных интегральных микросхем [] : учеб. пособие / Г. А. Жиров ; под ред. М. М. Некрасова. - К. : Вища шк., 1976. - 240 с. : рис., табл. - Прил.: с.229-235. - Лит.: с. 236-238. - 0.68 р
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Конструювання--Технологія виготовлення--Навчальні видання для вищої школи Кл.слова (ненормовані): технологии микросхем -- технології мікросхем -- нанесение пленок -- нанесення плівок -- гибридные интегральные микросхемы -- гібридні інтегральні мікросхеми -- изготовление фотошаблонов -- виготовлення фотошаблонів -- изготовление свободных масок -- виготовлення вільних масок Анотація: Теория и практика технологии гибридных интегральных микросхем: даны расчеты размеров и расположение на подложке пассивных пленочных элементов микросхем. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Некрасов, М. М. \ред.\ Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |