Г74 Готра, Зенон Юрійович. Лазерні методи обробки в мікроелектроніці [] / З. Ю. Готра, Я. В. Бобицький . - Л. : Світ, 1991. - 168 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 154-165. - ISBN 5-11-000838-8 : 4.00 крб
Рубрики: Мікроелектроніка--Лазерна обробка--Наукові видання Кл.слова (ненормовані): лазерне випромінювання -- лазерное излучение -- діагностика лазерної обробки -- диагностика лазерной обработки -- техніка лазерної обробки -- техника лазерной обработки -- оптична діагностика зони обробки -- оптическая диагностика зоны обработки -- лазерний відпал -- лазерный отжиг -- лазерна епітаксія -- лазерная эпитаксия -- лазерне легування -- лазерное легирование -- лазерний синтез -- лазерный синтез -- лазерно-стимульовані процеси травлення -- лазерно-стимулирующие процессы травления -- лазерно-стимульовані процеси осадження -- лазерно-стимулирующие процессы осаждения Анотація: Викладені фізико-технічні основи процесів створення приладів мікроелектроніки на базі лазерної техніки. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Бобицький , Ярослав Володимирович Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |
Т38 Технология СБИС [Текст] = VLSI Technology : в 2 кн. / под ред. С. Зи. - Москва : Мир, 1986. Кн. 1 / под ред. Ю. Д. Чистякова ; пер. с англ.: В. М. Звероловлева и др. ; [К. Пирс и др.]. - Авт. зазначено на звороті тит. арк. - Библиогр. в конце глав. - 3.0 р. Рубрики: Електронні прилади--Інтегральні мікросхеми--Технологія--Наукові видання Кл.слова (ненормовані): электронные устройства -- интегральные микросхемы -- электронный кремний -- електронний кремній -- рост кристаллов -- ріст кристалів -- эпитаксия -- епітаксія -- осаждение диэлектрических пленок -- осадження діелектричних плівок -- окисление -- окислення -- диффузия -- дифузія -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- литография -- літографія Анотація: Получение микрокристаллов кремния, подготовка подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Зи, С. \ред.\; Пирс, К.; Адамс, А.; Кац , Л.; Цай, Джю; Звероловлев, В. М. \пер.\; Лейкин, В. Н. \пер.\; Петров, В. Б. \пер.\; Эйдельман, Б. Л. \пер.\; Чистяков, Ю. Д. \ред.\ Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |