621.3.049.77 Г74
Готра, Зенон Юрійович. Лазерні методи обробки в мікроелектроніці [] / З. Ю. Готра, Я. В. Бобицький . - Л. : Світ, 1991. - 168 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 154-165. - ISBN 5-11-000838-8 : 4.00 крбББК 32.844.1 Рубрики: Мікроелектроніка--Лазерна обробка--Наукові видання Кл.слова (ненормовані): лазерне випромінювання -- лазерное излучение -- діагностика лазерної обробки -- диагностика лазерной обработки -- техніка лазерної обробки -- техника лазерной обработки -- оптична діагностика зони обробки -- оптическая диагностика зоны обработки -- лазерний відпал -- лазерный отжиг -- лазерна епітаксія -- лазерная эпитаксия -- лазерне легування -- лазерное легирование -- лазерний синтез -- лазерный синтез -- лазерно-стимульовані процеси травлення -- лазерно-стимулирующие процессы травления -- лазерно-стимульовані процеси осадження -- лазерно-стимулирующие процессы осаждения Анотація: Викладені фізико-технічні основи процесів створення приладів мікроелектроніки на базі лазерної техніки.
Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Бобицький , Ярослав Володимирович
Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)
|