621.3.049.77:621.396.6 Ш 49
Шермергор, Тимофей Дмитриевич. Пленочные пьезоэлектрики [] / Т. Д. Шермергор, Н. Н. Стрельцова. - М. : Радио и связь, 1986. - 137 с. : рис., табл. - Лит.: с. 132-137. - 0.55 р.ББК 32.843 Рубрики: П'єзотехніка--Матеріали та вироби--Практичні посібники Кл.слова (ненормовані): п'єзоматеріали -- пьезоматериалы -- п'єзоелектричний ефект -- пьезоэлектрический эффект -- п'єзоелектроніка -- пьезоэлектроника -- метод отримання плівок -- метод получение пленок -- структура плівок -- структура пленок -- електрофізичні властивості плівок -- электрофизческие свойства пленок -- акустика плівок -- акустика пленок -- оптика плівок -- оптика пленок -- механічні властивості плівок -- механические свойства пленок -- тонкоплівочні пристрої -- тонкопленочные устройства -- п'єзоелектричні полімерні плівки -- пьезоэлектрические полимерные пленки Анотація: Физические свойства пьезоэлектрических материалов, используемых в микроэлектронике.
Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Стрельцова, Наталья Николаевна
Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)
|