Пономарев, Александр Георгиевич.     Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур [] / А. Г. Пономарев, В. А. Ребров, С. В. Колинько // Наука та інновації = Science and Innovation. - 2019. - N 4. - С. 62-69 : рис. - Лит.: с. 67-69 . - ISSN 1815-2066 Рубрики: Наноелектроніка--Поверхнево-активні речовини Кл.слова (ненормовані): наноэлектроника -- поверхностно-активные вещества -- протонно-лучевая литография -- протонно-променева літографія -- электростатический ускоритель -- електростатичний прискорювач -- магнитная квадрупольная линза -- магнітна квадрупольна лінза Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Ребров, Владимир Андреевич; Колинько, Сергей Владимирович Є примірники у відділах: всього 1 : ВВ (1) Вільні: ВВ (1)