Б78 Боков, Юрий Сергеевич. Фото-, электронно- и рентгенорезисторы [] / Ю. С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : рис., табл. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Лит.: с. 129-135. - 0.50 р.
Рубрики: Мікроелектроніка--Вироби--Практичні посібники Кл.слова (ненормовані): спектральный диапазон излучений -- спектральний діапазон випромінювання -- фотохимические процессы -- фотохімічні процеси -- фоторезисторы -- фоторезистори -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- азидосодержащие полимеры -- азидовмістні полімери -- органические сенсибилизаторы -- органічні сенсибілізатори -- сополимеры -- сополімери Анотація: Вопросы получения фото-, электроно- рентгенорезисторов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |
Д36 Деркач, Виталий Павлович. Методы повышения параметров БИС [] / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - К. : Вища шк., 1986. - 152 с. : рис. - Лит.: с. 143-152. - 1.40 р.
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологія--Наукові видання Кл.слова (ненормовані): биполярные интегральные схемы -- біполярні інтегральні схеми -- оптоэлектронные интегральные структуры -- оптоелектронні інтегральні структури -- акустоэлектронные интегральные структури -- акустоелектронні інтегральні структури -- фотолитография -- фотолітографія -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- ионолитография -- іонолітографія -- вакуумно-плазменная микрообработка -- вакумно-плазмова мікрообробка -- ионное внедрение -- іонне впровадження Анотація: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |