Г74 Готра, Зенон Юрійович Технологія електронної техніки [Текст] : навч. посібник : у 2 т. / З. Ю. Готра. - Львів : Львів. політехніка, 2010. Т. 2. - 884 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 878. - ISBN 978-966-553-883-7 : 470.00 грн, 100.00 грн
Рубрики: Електроніка--Навчальні видання для вищої школи Кл.слова (ненормовані): електронно променева технологія -- технологія тонких плівок -- товстоплівкова технологія -- фізико-хімічні методи обробки -- фотолітографічні процеси -- субмікронна літографія -- технологія електронних стируктур -- нанотехнологія -- складання мікроелектронних пристроїв -- вакуумно-геометричні з'єднання -- герметизація елементів Анотація: Технологічні процеси електронної техніки. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Примірників всього: 3 ФОНД (1), ВВ (2) Свободны: ФОНД (1), ВВ (2) |
Г74 Готра, Зенон Юрьевич. Технология микроэлектронных устройств [] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 4.00 крб
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання Кл.слова (ненормовані): монокристаллические материалы -- монокристалічні матеріали -- кристаллы полупроводниковых материалов -- кристали напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- технология эпитаксальных слоев -- технологія епітаксальних шарів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- технология тонких пленок -- технологія тонких плівок -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв -- герметизация микроэлектронных устройств -- герметизація мікроелектронних пристроїв Анотація: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Примірників всього: 4 ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2) Свободны: ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2) |
Г74 Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р.
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання Кл.слова (ненормовані): структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв Анотація: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Примірників всього: 2 ВВ (1), АБ (1) Свободны: ВВ (1), АБ (1) |