Т22 Таруи, Ясуо. Основы технологии сверхбольших интегральных схем [] / Я. Таруи ; пер. c япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 454-474. - 2.70 р.
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Діагностика--Технолгія--Практичні посібники Кл.слова (ненормовані): электронно-лучевая литография -- електонно-променева літографя -- методы переноса рисунка -- методи переносу малюнка -- методы контроля шаблонов -- методи контролю шаблонів -- методы выращивания кристаллов -- методи вирощування кристалів -- метод сухого травления -- метод сухого травлення -- лазерный отжиг -- лазерний отжиг -- методы образования пленок -- методи утворення плівок -- проверка интегральных схем -- перевірка інтегральних схем -- пределы микроминиатюризации -- межі мікромініатюризації -- интегральная инжекционная логика -- інтегральна інжекційна логіка Анотація: Методы электонно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Лазарев, В. А. \пер.\; Ржанов, В. Г. \ред.\ Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |