Б78 Боков, Юрий Сергеевич. Фото-, электронно- и рентгенорезисторы [] / Ю. С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : рис., табл. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Лит.: с. 129-135. - 0.50 р.
Рубрики: Мікроелектроніка--Вироби--Практичні посібники Кл.слова (ненормовані): спектральный диапазон излучений -- спектральний діапазон випромінювання -- фотохимические процессы -- фотохімічні процеси -- фоторезисторы -- фоторезистори -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- азидосодержащие полимеры -- азидовмістні полімери -- органические сенсибилизаторы -- органічні сенсибілізатори -- сополимеры -- сополімери Анотація: Вопросы получения фото-, электроно- рентгенорезисторов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |