Х68 Ховерко, Юрій Миколайович. Технологія елементів зінтегрованих схем мікро- та наносистемної техніки [] : навч. посіб. / Ю. М. Ховерко, І. П. Островський, А. О. Дружинін ; [ред. О. Дорошенко] ; М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Львів : Вид-во Львів. політехніки, 2018. - 171, [1] с. : іл., табл., портр. - Скор.: с. 5-6. - Літ.: с. 164-169. - ISBN 978-966-941-219-5 : 125.00 грн
Рубрики: Нанотехнології--Схемотехніка--Виготовлення--Навчальні видання фывфывфыв: кремнієві мікроструктури -- технологія напівпровідникового виробництва -- закони дифузії Фіка -- дифузійні процеси -- процеси епітаксії -- осадження полікристалічного кремнію -- іонна імплантація -- процеси окислення -- рівні проектування -- ультравеликі зінтегровані схеми -- наноелектромеханічні системи -- методи контролю зінтегрованих схем Аннотация: Методи отримання зінтегрованих схем, розглянуто фізичні процеси і властивості основних технологічних процесів під час створення зінтегрованних схем. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Островський, Ігор Петрович; Дружинін, Анатолій Олександрович; Дорошенко, Ольга \ред.\; Міністерство освіти і науки України; Національний університет "Львівська політехніка" Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |