621.3.049.77(035) Г74     Готра, Зенон Юрьевич.     Технология микроэлектронных устройств [] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 4.00 крб УДК 621.3.049.77(035) ББК 32.844.1я2 Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання     фывфывфыв: монокристаллические материалы -- монокристалічні матеріали -- кристаллы полупроводниковых материалов -- кристали напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- технология эпитаксальных слоев -- технологія епітаксальних шарів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- технология тонких пленок -- технологія тонких плівок -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв -- герметизация микроэлектронных устройств -- герметизація мікроелектронних пристроїв Аннотация: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 4 ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2) Свободны: ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2)

621.3.049.77(035) Г74     Готра, Зенон Юрьевич.     Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р. УДК 621.3.049.77(035) ББК 32.844.1я2 Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання     фывфывфыв: структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 2 ВВ (1), АБ (1) Свободны: ВВ (1), АБ (1)