621.3.049.77(035)
Г74
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств [] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 4.00 крбББК 32.844.1я2
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання
фывфывфыв:
монокристаллические материалы -- монокристалічні матеріали -- кристаллы полупроводниковых материалов -- кристали напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- технология эпитаксальных слоев -- технологія епітаксальних шарів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- технология тонких пленок -- технологія тонких плівок -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв -- герметизация микроэлектронных устройств -- герметизація мікроелектронних пристроїв
Аннотация: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.
Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Экземпляры всего: 4
ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2)
Свободны: ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2)
|