621.38(075.8) Г74    Готра, Зенон Юрійович     Технологія електронної техніки [Текстььь] : навч. посібник : у 2 т. / З. Ю. Готра. - Львів : Львів. політехніка, 2010.    Т. 2. - 884 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 878. - ISBN 978-966-553-883-7 : 470.00 грн, 100.00 грн УДК 621.38(075.8) ББК 32.85я73 Рубрики: Електроніка--Навчальні видання для вищої школи     фывфывфыв: електронно променева технологія -- технологія тонких плівок -- товстоплівкова технологія -- фізико-хімічні методи обробки -- фотолітографічні процеси -- субмікронна літографія -- технологія електронних стируктур -- нанотехнологія -- складання мікроелектронних пристроїв -- вакуумно-геометричні з'єднання -- герметизація елементів Аннотация: Технологічні процеси електронної техніки. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 3 ФОНД (1), ВВ (2) Свободны: ФОНД (1), ВВ (2)

621.3.049.77(035) Г74     Готра, Зенон Юрьевич.     Технология микроэлектронных устройств [] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 4.00 крб УДК 621.3.049.77(035) ББК 32.844.1я2 Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання     фывфывфыв: монокристаллические материалы -- монокристалічні матеріали -- кристаллы полупроводниковых материалов -- кристали напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- технология эпитаксальных слоев -- технологія епітаксальних шарів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- технология тонких пленок -- технологія тонких плівок -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв -- герметизация микроэлектронных устройств -- герметизація мікроелектронних пристроїв Аннотация: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Экземпляры всего: 4 ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2) Свободны: ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2)