С 56 Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников [] : сб. науч. трудов / отв. ред.: А. В. Ржанов, С. М. Репинский. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1988. - 237 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-028640-0 : 3.90 р.
Рубрики: Напівпровідники--Фізична хімія--Наукові видання фывфывфыв: полупроводники -- напівпровідники -- диэлектрики -- діелектрики -- химическая кинетика -- хімічна кінетика -- травление кремния -- травлення кремнію -- физико-химические процессы -- фізико-хімічні процеси -- процессы осаждения -- процеси осадження -- поверхности полупроводников -- поверхні напівпровідників -- травление полупроводников -- травлення напівпровідників -- гетерогенные реакции -- гетерогенні реакції -- физика полупроводников -- фізика напів провідників -- химия полупроводников -- хімія напівпровідників Аннотация: Сборник содержит критический анализ экспериментальных данных о процессах плазменного, ион- и лазернохимического травления полупроводников. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Ржанов, А. В. \ред.\; Репинский, С. М. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ФОНД (1) Свободны: ФОНД (1) |