Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

у знайденому

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=очистка полупроводниковых материалов<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.77(035)
Г74

Готра, Зенон Юрьевич.
Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р.

УДК

621.3.049.77(035)

ББК 32.844.1я2
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання

Кл.слова (ненормовані):
структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв
Анотація: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 2
ВВ (1), АБ (1)
Свободны: ВВ (1), АБ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)