Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

у знайденому

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=системи управління переміщеннями<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.77
А22

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [] : учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / [А. А. Сазонов и др.] ; под ред. А. А. Сазонова. - М. : Высш. шк., 1991. - 333, [1] с. : рис., табл. - Авт. зазначено на звороті тит. арк. - Лит.: с. 332. - ISBN 5-06-000731-6 : 1.60 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Інтегральні мікросхеми--Навчальні видання для вищої школи

Кл.слова (ненормовані):
производство интегральных микросхем -- виробництво інтегральних мікросхем -- гибкие автоматизированные производства -- гнучкі автоматизовані виробництва -- технологические объекты микроэлектроники -- технологічні об'єкти мікроелектроніки -- управляющие устройства -- управляючі пристрої -- системы управления перемещениями -- системи управління переміщеннями -- електропривод -- электропривод -- технологический микроклимат -- технологічний мікроклімат -- адаптивные регуляторы -- адаптивні регулятори
Анотація: Вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Сазонов, Александр Афанасьевич; Корнилов , Ростислав Васильевич; Кохан , Николай Петрович; Лукичев, Александр Юрьевич; Осокин, Вячеслав Иванович; Таран, Валентин Анатольевич; Федукин, Владимир Александрович; Сазонов, Александр Афанасьевич \ред.\
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)