621.317:621.315.5
Б 28
Батавин, Виталий Васильевич.
Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур [] / В. В. Батавин, Ю. И. Концевой, Ю. В. Федорович ; [редкол.: А. Г. Алексеенко и др.]. - М. : Радио и связь, 1985. - 264 с. : рис., табл. - (Измерения в электронике). - Лит.: с. 251-262. - 1.10 р.ББК 32.843.3
Рубрики: Матеріали--Напівпровідникові--Вимірювання--Практичні посібники
фывфывфыв:
чотиризондовий метод -- четырехзондовый метод -- двозондовий метод -- двухзондовый метод -- неоднорідність питомого опору -- неоднородность удельного сопротивления -- опір епітаксиальних шарів -- сопротивление эпитаксиальных слоев -- ефект Хола -- эффект Холла -- геометричний магнітний опір -- геометрическое магнитное сопротивление -- спектри поглинання -- спектры поглощения -- спектри відображення -- спектры отображения -- дифузні шари -- диффузные слои -- інфрачервона інтерференція -- инфракрасная интерференция -- інфрачервана фур'є-спектромія -- инфракрасная фурье-спектромия -- метод покраски шліфу -- метод окрашивания шлифа -- контроль параметрів неосновних носіїв заряду -- контроль параметров неосновных носителей заряда -- дифузна довжина -- диффузная длина -- растровая электронная микроскопия -- растрова електронна мікроскопія -- ионная масс-спектроскопия -- іонна мас-спектроскопія -- электронная оже-спектроскопия -- електронна oже-спектроскопія -- электронно-зондовый рентгеновский микроанализ -- електронно-зондовий рентгенівський мікроаналіз
Аннотация: Физические основы методов измерений электрофизических и структурных параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев, вопросы их практической рализации.
Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Доп.точки доступа:
Концевой, Юлий Абрамович; Федорович, Юрий Вячеславович; Алексеенко, А. Г. \ред.\; Валитов, Р. А. \ред.\; Васильченко, Н. В. \ред.\; Дубовицкий, Л. Г. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
|